全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統(tǒng)開發(fā)而來，采用了VMM 公司最先進(jìn)的設(shè)計和技術(shù)。

　　, 新款Precis 包含了很多可配置選項，使設(shè)備更加通用，耐用以及可靠。

　　擴(kuò)展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm

　　透射照明

　　完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)

　　符合人體工程學(xué)的操作員控制臺 ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合

　　全自動顯微鏡，所有設(shè)置計算機(jī)控制

　　最佳分辨率像素攝像頭

　　VIEW Metrology Software (VMS™)可測組件很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入。

　　MMWin – 晶圓片 和Mask計量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.

　　標(biāo)準(zhǔn) 可選

　　X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 ‘/最大載重: 12 kg

　　XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um

　　Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

　　分辨率: 0.01 微米

　　視場測量精度和重復(fù)性:0.01 μm (100x)

　　直流伺服馬達(dá)驅(qū)動