Pinnacle+Plus擁有堅硬的花崗巖支撐結構和高性能的Z軸移動組件，使測量微電子零件和組件時產(chǎn)生盡可能低的不確定性.

　　最先進的線性馬達控制技術造就了運行速度最快,最為可靠的免維護平臺,滿足了從無塵室到工廠車間的生產(chǎn)環(huán)境中,大容量,高性能的操作。

　　特征:

　　X,Y,Z 行程 (毫米):250 x 150 x 50

　　X,Y,Z光柵尺分辨率:XY - 0.05μm,零膨脹材料，Z - 0.01μm,零膨脹材料

　　平臺驅(qū)動系統(tǒng):無摩擦高速線性馬達驅(qū)動X&Y,直流伺服馬達驅(qū)動Z

　　最大速度:X,Y - 100 mm/sec / Z - 25 mm/sec

　　最大承載量:25 kg

　　光學系統(tǒng) :單倍放大, 工廠安裝背光的鏡頭和視場交換式前透鏡標配為VIEW 1X 背管，5X鏡頭

　　計量軟件

　　可選項: Elements

　　可選項Measure-X

　　可選項軟件模塊:

　　區(qū)域多點自動ju jiao

　　連續(xù)捕獲圖像(CIC)

　　先進的圖像濾光和圖像拼接，自定義

　　UI操作軟件

　　MeasureFit Plus

　　SmartPro?le

　　3D GD&T 評估軟件

　　VMS 離線編程軟件

　　數(shù)字輸入/輸出Digital I/O