9000型是一個基于彈簧作用于膜片操作原理的背壓調節(jié)閥,設計用于特殊的小流量氣體的應用。背壓閥控制入口壓力而不是控制出口壓力,操作上類似于安全閥。產品結構緊湊,可精確調節(jié)壓力,并且能維持入口壓力不隨流量變化而變化。
設計特點
• 精確調節(jié)
• 軟閥座
• 全棒料結構
• 壓力表連接口
• 適合面板安裝
產品規(guī)格
流量范圍: 0-1000 sccm
最大操作溫度: 160℉(71℃)
性能: 流量靈敏度(偏差):請詳見A圖
-------精確調節(jié)(分辯率): 15轉
壓力調節(jié)范圍: 0-15 psig(0-103.4KPa)
連接 :入口、出口和表接口均為 1/8”Swagelok
結構材質
主體:鋁或不銹鋼
閥帽:鋁
孔:銅不銹鋼
閥座: Viton
隔膜: Fairprene BN-5029(Buna N在尼龍上)或不銹鋼
范圍彈簧:琴線