001 ， 002 和 003A 型質(zhì)量流量控制閥門都是常閉的比例控制閥門，可應(yīng)用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮?dú)饬砍讨小．?dāng)它與質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合使用時(shí)，就可構(gòu)成一個(gè)閉合回路控制系統(tǒng) , 該系統(tǒng)允許單獨(dú)組件配置（流量計(jì)和控制閥門）。

　　001 型， 002 型， 003A 型 質(zhì)量流量控制閥門技術(shù)參數(shù)

　　流量范圍* :從 0-5SCCM 到 0-500SLPM

　　環(huán)境和操作溫度 : -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）

　　最大操作壓力: 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具體請(qǐng)參考表一

　　安裝方向 :對(duì)位置不敏感

　　額定工作電壓 : 4-11VDC （最大 24VDC ）

　　額定工作電流 : 150mADC （最大 275 mADC ）

　　閥線圈電阻 : 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）

　　重 量 :請(qǐng)參考表一

　　結(jié)構(gòu)材質(zhì)

　　主體: 316 不銹鋼

　　孔: 316 不銹鋼

　　閥組件（接液）: 001 型: 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802

　　002 型: 302SS ， 316SS ， Sandvik1802

　　003A 型: 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802

　　密封材質(zhì)（” O ”型環(huán)和閥座）: 001 型: Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton

　　002 型: Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton

　　003A 型: Buna N ， Viton

　　* 注:上述流量范圍反映的是氮?dú)鈽?biāo)定下產(chǎn)生的最小流量和最大流量，可采用其它介質(zhì)的流量范圍，當(dāng)操作參數(shù)有疑問(wèn)時(shí)為了保證選型，請(qǐng)咨詢廠家。