鈦 靶
一、牌號
國內(nèi)牌號:TA1、TA2。 ??美標(biāo)牌號:GR1、GR2。
二、靶材的主要性能要求:
?。?）純度
純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應(yīng)用中，對靶材的純度要求也不盡相同。
（2）雜質(zhì)含量
靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如，半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
三、加工工藝
鍛造、軋制。
四、表面
車光、倒角。表面清潔光滑，無起皮，氣孔，裂紋等缺陷。
五、規(guī)格
Φ100*40，Φ98*40，Φ95*45，Φ90*40，Φ85*35，Φ65*40較常見，其他規(guī)格可按客戶要求制作。