E09.Cap電容非接觸式測微儀,通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移,測量精度為納米級。
測微儀由機(jī)箱與傳感模塊組成,可組成多通道測量。
原理
它基于一個理想的平行板電容器原理,傳感器與相對面被測目標(biāo)形成的兩個電極,采用保護(hù)環(huán)電容器原理,用于測量任何金屬時,傳感器仍是線性的。
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